メンバー

教授

鈴木恵友

総合研究棟N209号室
専門：材料科学，ナノマイクロ加工，半導体プロセス，
　　　CMP(Chemical Mechanical Polishing)

准教授

パナートカチョーンルンルアン

研究棟W223号室
専門：高速ナノスケール現象3D観測・解析，非接触ナノセンシング，
　　　ナノマイクロ加工・計測

秘書

山下

研究員

高田正人
Li Jia-Xuan

博士後期課程３年

鬼木

博士後期課程１年

Steve Tsai
Natthaphon Bun-Athuek

博士前期課程

５名

学部４年生

６名