メンバー

教授

鈴木恵友

総合研究棟N209号室
専門：材料科学，ナノマイクロ加工，半導体プロセス，
　　　CMP(Chemical Mechanical Polishing)

准教授

パナートカチョーンルンルアン

研究棟W223号室
専門：高速ナノスケール現象3D観測・解析，非接触ナノセンシング，
　　　ナノマイクロ加工・計測

研究員（非常勤）

堀川

秘書

山下

博士課程学生

５名

修士課程学生

４名

学部４年生

５名