研究設備

8インチウェハ対応CMP装置(CMP device for the 8 inch Si wafer)

高速カメラ付き光学顕微鏡
(Optical microscope with high speed camera)

紫外線レーザ照射装置(UV laser irradiation system)

顕微ラマン分光装置(Microlaser Raman spectroscopic device)

動的光散乱法による粒子径分析装置
(Particle size analyzer using dynamic light scattering)

システム実体顕微鏡及び顕微鏡デジタルカメラ

ダイナミック電気化学反応評価装置